AG Wein­ber­ger -Ent­wick­lung neuer Dünn­schicht­sys­teme und Her­stel­lungs­pro­zesse

Vakuumkammer für Magnetron Sputtering von dotierten substöchiometrischen Metall Oxid Schichten (links), Plasma während TiO2-x Beschichtung.

Im Allgemeinen beschäftigen wir uns mit dem Magnetron Sputtern von dotierten substöchiometrischen Metall-Oxid Schichten (Cu:NiOx, Nb:TiO2-x, Nb:Nb2O5-x, …), aber auch mit rein metallischen und tribologische Schichten. Zusätzlich entwickeln wir neue Absorberschichten für Dünnschichtsolarzellen. Derzeit gibt es in der Photovoltaikforschung eine intensive Dynamik im Bereich der Tandemzellen. Dabei werden zwei Solarzellen mit angepassten Bandlücken kombiniert. Wir entwickeln hierfür eine Loch-selektive Schicht zwischen den Solarzellen auf Basis von Cu:NiO.

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